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日本CANON ANELVA真空计M-320XG
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南京易鸣销售日本CANON真空计、离子规 原装正品 品质保证!
产品品牌:日本CANON
产品名称:真空计、离子规
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具体规格型号如下所示:
M-320XG
特長:
広い測定範囲
大気圧から1×10-2Paまで、優れた再現性で測定が可能
高い安全性
クリスタルゲージは、熱源(フィラメント)を持たない真空計
コンパクト、超軽量
コントローラ部は、手のひらサイズ、質量はわずか200g
※A-NET表示器 M‐39099M-391、M-320XG専用の表示器です。
※シングルチャンネル対応です。
用途:
各種真空装置のあら引き圧力の測定
各種プロセスの圧力測定
チャンバーベント等の検出用圧力スイッチ
その他大気圧から10-2Pa台迄の圧力測定
规格尺寸:
型 名 M-320XG
測定球 XG-1クリスタルゲージヘッド(クリスタルゲージ専用)
測定圧力範囲 1×10-2Pa~大気圧
Gas種選択 N2、Ar、H2、Air
アナログ出力 DC 0-10V:デジットスイッチにより下記項目出力形式設定
(圧力信号) ①Log出力
②複合出力
③リニア出力 フルスケール圧力レンジ選択可能(1×101、1×102、1×103、1×104、1×105Pa)
リモートI/O INPUT ①ガス種設定 2bit信号で切換
②ゼロ点調整
③ATM設定
OUTPUT セットポイント出力2点
セットポイント 2点(フォトカプラ出力、ヒステリシス固定)
デジットスイッチにより設定(SP1、SP2共仮数部、指数部)
動作環境 5℃~50℃(コントローラー含む)
ゲージヘッドのみの耐熱温度150℃MAX
ゼロ点調整 PUSHスイッチ又は、リモートI/O入力によるソフトウェアゼロ調整
フルスケール調整 トリマーボリュームによる調整
入出力コネクタ Dsub 15P
表示 LED 3ヶ(PWR/ALM 緑/赤の2色発光、SP1-Status 緑、SP2-Status 緑)
所要電力 DC 22V~33V、(最大消費電力2W)
外形寸法(mm) 72.5H×102W×44.5D(ゲージヘッド含まず)
質量 200g(ゲージヘッド含まず)
センサー取り付けフランジ NW16、NW25、φ34ICF、φ70ICF等
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