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日本CANON ANELVA真空计M-311HG-SP/M-311HG-RS
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南京易鸣销售日本CANON真空计、离子规 原装正品 品质保证!
产品品牌：日本CANON
产品名称：真空计、离子规
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具体规格型号如下所示：
特長:
ワイドな圧力測定範囲
10-7Pa～10Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能
高応答アナログ出力
圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能
4つのエミッション電流設定モード
高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能
用途:
生産用真空装置の圧力測定
半導体スパッタリング装置の圧力測定
各種真空装置
规格尺寸：
型 名 イオンゲージ
M-311HG-SP M-311HG-RS
圧力測定範囲 1×10-7～10Pa
入力電圧 DC20～28V
消費電力 12W
アナログ出力 0～10V －
セットポイント 2点リレー出力
インターフェース － RS485
入出力コネクタ Dsub-9（Male）
最大ケーブル長 200m（1mm2）
使用温度範囲 5～50℃
保存温度範囲 -20～70℃
センサ－型名 ミニチュアB-Aゲージ（MG-2Iシリーズ）
センサー材質（主要部） フィラメント:Y2O3/Ir、ケース:SUS304
外形寸法（mm） 110×70×50
フランジ形状 NW16, NW25, ICF34, ICF70
保護規格 IP40
RoHS, CEマーキング 対応
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